AI요약

기존 나노 패터닝 공정은 고비용 문제와 대면적 균일성 확보에 한계가 있었습니다. 이를 해결하기 위해 SPPW 공정과 드로잉 리소그래피를 융합한 미세패턴 제조 기술이 개발되었습니다. SPPW 공정의 자가집속 현상을 이용해 고종횡비 구조물을 형성한 후 고점성 물질을 접촉하여 이동시키는 드로잉 리소그래피 방식으로 나노와이어를 구현합니다. 이 기술은 100 대 1 이상의 고세장비를 갖는 구조물을 저비용으로 대면적에 제작할 수 있어 마이크로니들 약물 전달 시스템과 고감도 바이오 센서 및 기능성 필름 제조 등에 효과적으로 적용될 수 있습니다.