AI요약

기존 나노 패터닝 기술은 고해상도 구현은 가능하나 저비용으로 높은 종횡비를 얻거나 대면적을 균일하게 처리하는 데 한계가 있었습니다. 이를 해결하기 위해 빛-유도 자가 집속 현상을 이용한 SPPW(Self-Propagating Photopolymer Waveguides) 기술이 제안되었습니다. 본 기술은 액상 수지층에 저강도 광에너지를 조사하여 고종횡비 기둥을 형성한 뒤 이를 수직 방향으로 반복 이송하며 적층하는 다단계 방식을 채택하고 있습니다. 형성된 기둥을 광도파관으로 직접 활용함으로써 광학적 감쇠 한계를 극복하고 초고종횡비 구조체를 정밀하게 제작할 수 있습니다. 이 제조 공정은 마이크로니들, 광연결체, 바이오 센서 등 정밀도가 요구되는 다양한 첨단 산업 분야에서 소자의 성능 한계를 극복하고 제조 원가를 절감하는 데 크게 기여할 것입니다.